镀膜产品常见不良分析、改善对策——膜料点

　　膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题，在日企、台企把膜料点称为“斑孔”

　　顾名思义，膜料点就是蒸镀中，大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面，在基片表面形成点状的突起，有时是个别点，严重时是成片的细点，大颗粒点甚至可以打伤基片表面。

　　各种膜料的蒸发特性是不一样的，特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异

　　熔点温度大于蒸发温度的材料，由固态直接气化蒸发，是升华材料；

　　熔点温度小于蒸发温度的材料，由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发，是非升华材料；

　　熔点温度与蒸发温度相当的材料，由固态到气态蒸发，边融化边蒸发。是半升华材料。

　　其中非升华材料最容易产生膜料点，因为液态的膜料继续加热会沸腾，沸腾中膜料中的气泡溢出，飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。

　　膜料受潮，预熔或蒸镀时水汽逸出，也会造成飞溅产生。

　　下表是几种常用膜料的升华特性

　　膜料不纯、膜料参杂，即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料，这也是膜料点产生的原因。

　　改善思路：选用好的膜料、充分预溶、控制速率。

　　改善对策：

　　㈠ 选择杂质少的膜料

　　㈡ 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料

　　㈢ 膜料在镀前用网筛筛一下

　　㈣ 精心预熔，MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料，而Ta2O5 和TiO2必须彻底熔透。

　　㈤ 用一把电子枪镀制几种膜料时，防治坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染，应立即更换。

　　㈥ 尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。（勤打扫）。

　　㈦ 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料，蒸发速率不宜高。

　　㈧ 膜料去潮，将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥

　　注意：有时膜层内有一些细小的点子，有可能不是膜料点，而是灰尘点，处理的方法与膜料点不良是不同的，应严格区分，分别处理。

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