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镀膜产品常见不良分析、改善对策——膜料点

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题,在日企、台企把膜料点称为“斑孔”

  顾名思义,膜料点就是蒸镀中,大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面,在基片表面形成点状的突起,有时是个别点,严重时是成片的细点,大颗粒点甚至可以打伤基片表面。

  各种膜料的蒸发特性是不一样的,特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异

  熔点温度大于蒸发温度的材料,由固态直接气化蒸发,是升华材料;

  熔点温度小于蒸发温度的材料,由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发,是非升华材料;

  熔点温度与蒸发温度相当的材料,由固态到气态蒸发,边融化边蒸发。是半升华材料。

  其中非升华材料最容易产生膜料点,因为液态的膜料继续加热会沸腾,沸腾中膜料中的气泡溢出,飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。

  膜料受潮,预熔或蒸镀时水汽逸出,也会造成飞溅产生。

  下表是几种常用膜料的升华特性

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  膜料不纯、膜料参杂,即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料,这也是膜料点产生的原因。

  改善思路:选用好的膜料、充分预溶、控制速率。

  改善对策:

  ㈠ 选择杂质少的膜料

  ㈡ 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料

  ㈢ 膜料在镀前用网筛筛一下

  ㈣ 精心预熔,MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料,而Ta2O5 和TiO2必须彻底熔透。

  ㈤ 用一把电子枪镀制几种膜料时,防治坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染,应立即更换。

  ㈥ 尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。(勤打扫)。

  ㈦ 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料,蒸发速率不宜高。

  ㈧ 膜料去潮,将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥

  注意:有时膜层内有一些细小的点子,有可能不是膜料点,而是灰尘点,处理的方法与膜料点不良是不同的,应严格区分,分别处理。

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