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新型靶材的成分及靶材产品

溅射靶材 2020-07-16 16:26

新型靶材具有成分组织均一、晶粒细小、致密性好和与内管结合紧密等特点,从而大幅度提高靶材的利用率和所镀膜层质量。

利用该技术生产的靶材产品主要包括:

锡(Sn)、锡镉合金(Sn-Cd)、锌锡合金(Zn-Sn)、锌铝合金(Zn-Al),铟锡合金(In-Sn)、铜铟合金(Cu-In)、铜镓合金(Cu-Ga)、铜铟镓合金(Cu-In-Ga)除此之外我们常规还可以加工钼(Mo)旋转靶材,钛(Ti)旋转靶材,不锈钢旋转靶材。

产品规格主要有:ID-133/OD-157x3191mm;

ID-133/OD-157X3855mm.

ID-160/OD-180x1800mm也可以根据客户的具体要求加工。

高纯钛块铜背板

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