新型靶材具有成分组织均一、晶粒细小、致密性好和与内管结合紧密等特点,从而大幅度提高靶材的利用率和所镀膜层质量。
利用该技术生产的靶材产品主要包括:
锡(Sn)、锡镉合金(Sn-Cd)、锌锡合金(Zn-Sn)、锌铝合金(Zn-Al),铟锡合金(In-Sn)、铜铟合金(Cu-In)、铜镓合金(Cu-Ga)、铜铟镓合金(Cu-In-Ga)除此之外我们常规还可以加工钼(Mo)旋转靶材,钛(Ti)旋转靶材,不锈钢旋转靶材。
产品规格主要有:ID-133/OD-157x3191mm;
ID-133/OD-157X3855mm.
ID-160/OD-180x1800mm也可以根据客户的具体要求加工。
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