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制备CIGS薄膜的靶材种类及使用注意事项

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  一、CIGS薄膜的制备方法

  常用的制作CIGS薄膜的方法有五种,分别是共蒸发法、后硒化法、溅射法、电沉积法和喷涂热解法。目前较成熟的是共蒸发法、溅射法和后硒化法。共蒸发法是采用蒸发镀膜的方式制备CIGS薄膜,我公司可为您提供高纯度的Cu、In、Sn的颗粒,Ga由于熔点较低,难以制备成颗粒,一般以锭状出售。其余两种制备CIGS薄膜的方法,均需要用到靶材。

  二、制备CIGS薄膜的靶材种类

  四元合金靶材:铜铟镓硒(CIGS)靶材

  1、配比:我公司常规CIGS靶材的配比为Cu:In:Ga:Sn=1:0.7:0.3:2at%,为了满足不同科研用户的需要,在技术条件允许的前提下,我们可以接受不同配比的定制。

  2、制作过程:

  (1)CVD合成四元合金,高精度分析天平称量,各种元素的配比公差低于百万分之一

  (2)氮气保护下研磨制粉

  (3)热压烧结成型,检测成分无误后,打磨抛光出厂。

  3、检测:我公司对于出厂的CIGS靶材,常采用两种检测方法:TCP-MS和 XRD。通过TCP-MS检测材料中的含量,XRD检测材料的微观结构。正常情况下,我公司的5N的CIGS靶材,杂质元素的总和小于10ppm,并且具有闪锌黄铜矿结构、

  4、靶材致密度:≥93%

  5、安全防护措施:我公司可为客户提供MSDS,注意在溅射时采取必要的防护措施。

  6、靶材使用注意事项:

  (1)溅射功率:功率不宜太大,功率密度在每平方厘米2W为宜,最高不能超过3W。由于设备的不同,建议您在提升功率时缓慢调节,待靶材起辉后,可以不再提升。

  (2)提高靶头散热:CIGS靶材本身导热性差,循环水冷机可以更换大水管,以提高靶头水流量,提高散热能力。

  (3)CIGS靶材长时间使用会出现偏析现象,镓含量会变少。

  三、二元化合物靶材

  1、我公司可以提供多种制备CIGS薄膜的二元化合物靶材,如硒化铟(In2Se3)靶材,硒化镓(Ga2Se3)靶材和硒化亚铜(Cu2Se)靶材,尺寸可接受定制。

  2、制作过程:CVD合成二元化合物———热压烧结成型——检测——打磨,抛光

  四、除化合物靶材外,我公司还可提供制作CIGS薄膜的合金靶材,如铜镓合金靶材,铜铟合金靶材和铜镓铟合金靶材,以及制作CIGS的各种单质靶材,铜靶,铟靶,硒靶等。

  五、CIGS配套靶材

  制作完CIGS薄膜后,为保证CIGS太阳能电池的功用,我公司可为您提供如下靶材:

  硫化镉(CdS)靶材,硫化锌(ZnS)靶材,硒化锌(ZnSe)靶材

  氧化锌铝(AZO)靶材,钼(Mo)靶等

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