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采购靶材的注意事项

溅射靶材 2020-06-24 10:34

(1)density,这个市最主要的,好的靶密度至少达到97%以上,所以大家买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下你们的靶的密度和理论块体的密度的比例有多少,低于90%的退货。

(2)开裂问题,套磁靶很容易开裂,所以大家一定要求用cu的背板,这个是必须的,另外靶材不宜太厚,小于5mm最好了。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度肯定很差。

(3)电导率,对于AZO,ITO靶材来说,买回来了可以测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,越小你做出来的膜导电性肯定越好了。否则你死活都做不出你需要的电阻率的。

好的AZO靶材的AZO粉很重要,最好的是用纯的AZO粉,但是价格很贵,而且工艺比较复杂,这样的靶材做出来的膜电阻率最好。

目前国内主要是采用ZnO和Al2O3粉掺在一起做,但是问题是Al很难掺杂进ZnO中,所以电阻率不大好。ITO相类似。

建议靶材不要自己做,还是花钱买些大公司的靶材。你自己做一方面浪费时间,另外一方面你距离真正的好地靶材的距离太远了,目前你的条件完全不可能实现。

蒸发材料铝硅铜

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