几种靶材的相关工艺流程

众所周知，高纯度溅射靶材已经在各个领域被广泛应用，但是许多用户却不了解靶材在生产过程中的工艺流程。

今天就为大家主要介绍三种高纯靶材的生产工艺流程：

1.高纯铝靶

超高纯铝铸锭--切断--塑性加工--热处理--焊接--机加--检测--清洗--干燥--包装--入库

2.高纯钽靶

钽靶坯--焊接--机加--检测--清洗--干燥--包装--入库

3.高纯钨钛靶

高纯粉末--装模--真空热压--热等静压--平面磨加工--焊接--焊接结合率检测--机械加工--尺寸检测--清洗--干燥--包装--入库

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