蒸发电极材料

　　蒸发电极材料

　　真空蒸镀是指真空条件下，将镀料加热蒸发或升华，材料的原子或分子直接在衬底上成膜的技术。常见的真空蒸镀技术有以下几种：

　　1，电阻加热蒸发

　　采用电阻加热蒸发源的蒸发镀膜技术，一般用于蒸发低熔点材料，如铝、金、银、铝、硫化锌、氟化镁等;加热电阻一般采用钨、钼、钽等。

　　优点：结构简单、成本低。

　　缺点：材料易与坩埚反应，影响薄膜纯度;不能蒸镀高熔点的介电薄膜;蒸发率低。

　　2，电子束蒸发

　　利用高速电子束加热使材料汽化蒸发，在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量很高，可达到3000℃以上，可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、Al2O3等。

　　优点：可蒸发任何材料;薄膜纯度高;直接作用于材料表面，热效率高。

　　缺点：电子枪结构复杂，造价高;化合物沉积时易分解，化学比失调。

　　3，激光蒸发

　　采用高能激光束对材料进行蒸发，用以形成薄膜的方法，一般称为激光蒸镀。

　　优点：薄膜纯度高;蒸发速率高;特别适合蒸发成分复杂的合金或化合物，膜层的化学计量比与靶材保持一致。

　　缺点：易产生微小颗粒飞溅，影响薄膜质量。

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