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钼铌合金靶材加工工艺步骤

溅射靶材 2020-06-24 10:22

近年来,作为LCD(液晶显示)、PDP(等离子显示)等平面显示器的电极和配线材料的钼系合金靶越来越受到人们的关注。钼铌靶材正是在此种认知基础上最早被大批量运用的钼合金靶材材料。随之,钼铌旋转靶材的市场需求日益增加。

合金靶

钼铌靶材中通常铌含量为5%或10%,通常用烧结方法制作,因铌在烧结过程中有明显的吸氢现象,通常在真空烧结设备中完成。但传统的制作方法生产出来的钼铌靶材无法满足飞速进步的平面显示器行业的质量要求。

镍合金靶材

钼铌合金靶材加工工艺步骤:

B4C靶材

钼铌合金板的加工工艺步骤是首先进行混合,将定量钼粉与铌粉各分为至少三小份,然后每小份钼粉与铌粉再分别混合成小份混合粉,每小份混合粉经过多次混合和过筛后,多个小份混合粉再合成为混合合金粉。

然后是成型,经过等静压压成合金坯,进入高温中频炉在氢气保护下烧结,烧结的温度分为三个温区:0-800℃、800-1600℃、1600-2000℃,每个温区至少要烧结3小时,最终烧成合金坯状。

接着进行锻造和轧制,经过1200-1400℃高温锻造制密后,进入高温炉1500-1600℃的加热温度进行轧制成备料规格的板材,最后进行精加工,经过切割、精磨、机加成为钼铌合金板板材成品。

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