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我国ITO靶材行业的发展情况

溅射靶材 2020-06-06 17:53

目前国内ITO靶材需求量约150吨。随着中国经济的发展和全球产业分工的深化,日本、我国台湾地区、韩国的许多平板显示器制造企业都将他们的制造基地移到中国大陆,未来中国大陆将成为全球最大的液晶显示器制造中心。预计2010国内ITO靶材需求量将超过500吨。

ITO靶材的供应,主要的供应商以日本为主,其中日本能源、日本三井矿业公司、日本东曹3家厂商囊括了80%以上的ITO市场。

ITO靶材3种生产工艺各具特色

ITO靶材的生产工艺可以分为3种:热等静压法(HIP)、热压法(HP)和气氛烧结法。各种生产工艺及其特点简介如下。

磷酸铜镍铬靶

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