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怎样提高溅射靶材的效率

溅射靶材 2020-07-10 09:18

虽然增加气压可以提高离化率,但在较高的气压下,溅射靶材溅射出的粒子与气体的碰撞的机会也增大,实际的溅射率也很难有大的提高。如果加上一平行于阴极表面的磁场,就可以将初始电子的运动限制在邻近阴极的区域,从而增加气体原子的离化效率。

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