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溅射靶材磁控溅射靶材中毒的原因

溅射靶材 2020-07-13 11:44

不锈钢靶,现在靶材表面有许多不规则白色的斑点,而且有打火现像,靶材内冷却水浸泡磁铁,有许多污渍,是否对靶材也有影响?

靶材中毒主要原因是介质合成速度大于溅射产额(氧化反应气体通入太多),造成导体靶材丧失导电能力,只有提高击穿电压,才能起辉,电压过高容易发生弧光放电。现象:靶电压长时间不能达到正常,东莞溅射靶材一直处于低电压运行状态,并伴有弧光放电;靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。

若要彻底杜绝靶中毒,必须用中频电源或射频电源代替直流电源;减少反应气体的通入量、提高溅射功率,清理靶材上的污染物(特别是油污)、选用真空性能好的防尘灭弧罩等方法均可有效防止靶中毒现象的发生。靶材内冷却水浸泡的磁铁,有污渍,只要磁场强度足够,冷却效果良好,对靶材影响不大

污渍影响不大~打火是有绝缘部位造成的,一般是局部中毒或者赃物。东莞溅射靶材靶材中毒是因为功率密度太低,相对于过量的反应气体不能及时蒸发掉(或溅射),会残留靶材表面,造成导电性能下降,从而进入中毒状态。轻者无法起辉光,重者报废电源。

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