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镀膜产品常见不良分析、改善对策——膜色差异

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  膜色差异有二种(不包含色斑),一种是整罩上、中、下膜色不一致,即分光测试曲线有差异;二是单片膜色不一致。

  1.上中下膜色不一致称为整伞(罩)均匀性不好,也称有伞差。主要产生原因是均匀性修正板(补正板)有问题。

  2.伞片变形。也是膜色不匀的原因之一,特别是使用了较久的伞片,以往是均匀的,慢慢变得不均匀了,伞片变形就可能是主要原因了。

  3.膜料状况的不一致,特别是升华和半升华膜料被打偏,挖坑等也会严重影响整罩和单片的均匀性。特别是有大量手工预熔时,各人的操作手法不一,得到的料况也会不一。

  改善思路:充分采用修正板的功能。

  改善对策:

  ㈠ 调整修正板,尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容,如果有二个蒸发源,可能的条件下,独立使用各自的修正板,避免干扰。

  ㈡ 条件许可,采用行星夹具。

  ㈢ 伞片整形,对伞片整形可以先加工一个R基模(选择强度较高的原材料),在基模上对伞片整形。为防止减少伞片变形,在伞片订购时对伞片的厚度、原材料选择要合适。

  ㈣ 加强伞片管理,特别是摆放时的管理,防止因摆放不当而变形。

  ㈤ 改善膜料状况,特别是电子枪蒸镀升华、半升华材料时,不能把膜料打塌,挖坑。

  ㈥ 能够自动预熔的膜料,尽量自动预熔,减少人为因素影响。

  ▲ 修正板对物理膜厚的修正很有效,但对折射率的修正是力不从心的,所以完全靠修正板解决分光均匀性,是很困难的。

  ▲ 如果一个修正板要对应二把电子枪(蒸发源)、以及多种膜料,就会有较大的困难。

  对于单片膜色不均匀产生的原因:

  主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。

  另外镜片被镜圈(碟片)边缘部遮挡、镜圈(碟片)脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。

  改善思路:改善镜片边缘的蒸发角。

  改善对策:

  ㈠ 条件许可,用行星夹具;

  ㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;

  ㈢ 根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。

  ㈣ 如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。

  ㈤ 改善镜圈(碟片),防止遮挡。

  ㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡

  ㈦ 清洁镜圈(碟片)

  ㈧ 改善膜料蒸发状况。

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