靶材名称:实验用氧化锌铝靶材 AZO靶材
材 质:ZnO+Al2O3(常规配比:98:2、97:3)
纯 度:99.9%-99.999%
晶 粒 度:<100um
靶材优势:纯度高,杂质少,相对致密度高,晶粒均匀,一致性高
应用领域:溅射镀膜 蒸发镀膜 实验或研究级别
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