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真空镀膜时候膜有灰点怎么办

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  膜上有灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等等统称为膜脏,一般发生在膜内或膜外,是镀膜产品的常见问题。部分是镀膜工序的本身造成的,部分是前工程遗留的问题,镀膜最终的品质是整个光学零件加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映,对于出现镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生的原因,对策改善才能取得成效。

  灰点脏

  现象:镜片膜层表面或内部有一些点子(不是膜料点)有些可以擦除,有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。

  产生原因:

  1、真空室脏,在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上,形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

  2、镜圈或碟片脏,有浮点灰尘,在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

  3、镜片上伞时就有灰尘点,上伞时没有检查挑选。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

  4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因,特别是当镜片热的时候,更容易吸附灰尘,而且难以擦除。(膜外)

  5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏,充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。(膜外)

  6、作业员人为带来的灰尘污染(膜内膜外)

  7、工作环境中灰尘过多

  改善思路:杜绝灰尘源

  改善对策:

  1、工作环境改造洁净车间,严格按洁净车间规范实施。

  2、尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。

  3、真空室周期打扫,保持清洁。

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