磁控溅射不起辉的常见原因以及应对方法

磁控溅射金属靶时，无法起辉的原因有很多，常见主要原因有：

1.靶材安装准确否?

2.靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可。

3.起辉电源是否正常------------检查靶电源。

4.靶与地线之间短路

----------关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下；

----------压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。

5.永磁靶表面场强是否下降太多？

---------如果下降太多，需要更换磁钢。

6.起辉溅射真空度与前次的差别？

---------更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。

换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉。

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