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磁控溅射不起辉的常见原因以及应对方法

溅射靶材 2020-06-05 22:56

磁控溅射金属靶时,无法起辉的原因有很多,常见主要原因有:

合金靶

1.靶材安装准确否?

2.靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质,打磨清理干净后即可。

3.起辉电源是否正常------------检查靶电源。

4.靶与地线之间短路

金靶

----------关掉机器,把设备的溅射靶卸下来,靶附近的零件仔细清洗一下;

----------压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离,调整距离即可。

陶瓷靶

5.永磁靶表面场强是否下降太多?

---------如果下降太多,需要更换磁钢。

6.起辉溅射真空度与前次的差别?

---------更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。

换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉。

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