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平面靶材

溅射靶材 2020-06-29 09:12

平面靶材

靶材名称:平面靶材

材 质:Ti Zr Cr Ni Cu TiAl CrAl NiCr等

纯 度:99.5%—99.99%

晶 粒 度:<100um

应用领域:工具镀膜、装饰镀膜、电子行业、平面显示器行业等

简介:

平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材,例如:直径100*厚度40mm的铜靶材。平面靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接,在真空条件下溅射成膜层附着于基片上,再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工,以满足不同需要。

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