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镀膜产品常见不良分析、改善对策——分光不良

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  分光不良分为二种情况:

  一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。

  二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救的成功率比较高。

  中断的原因形式不一:

  ①停电,

  ②机器故障

  ③人为中断(发现错误、疑问后中断)

  中段后信息:

  ㈠知道镀到第几层,已镀各层的膜厚;

  ㈡知道镀到第几层,最后一层膜的膜厚不确定;

  ㈢不知道镀了多少。

  补救处理:

  1.对于第㈠种情况,比较好处理,只要确认前面镀的没错,程序没有用错,就可以继续原来的程序,要注意的是:如果某一层镀了一部分继续镀下去时,交接处要减少一些膜厚(根据膜料、蒸发速率决定减少多少,一般是0.2-1nm左右),如果该层剩下的膜厚已不足15-20秒蒸镀时,要考虑降低蒸发速率或干脆不镀,通过后续层调整膜厚解决。

  2.对于第㈡㈢种情况的处理比较复杂一些,

  模拟:根据已经实镀的镜片(测试比较片)实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值,再根据已经掌握的膜系信息输入,采用倒推法逐层优化,模拟出实际镀制的膜系数据。

  *测试比较片片是指随镜片一起镀制(在伞片上、与镜片同折射率),用于测试镀后分光曲线的平片。

  优化:再锁定通过模拟得到的膜系数据,通过后续层膜厚优化找到实现目标的最佳方案。

  试镀:根据新优化的后续膜层数据,试镀若干镜片(1-2片)或测试片,确认补色膜系的可行性。

  补色镀:对试镀情况确认后实施补色镀。补色镀前,确认基片是否洁净,防止产生其它不良。

  3、其它情况处理:

  对于用错程序,错误操作(预熔未关闭挡板等)人为中断需要补救的;以及反光膜、滤光膜镀后需要补救的情况处理方案:

  ·模拟:将实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值。通过计算机模拟(一般是最后一层的膜厚确认),找到与实现测试值结果相应的膜系数据。

  ·优化:根据模拟得到的膜系数据,输入产品要求的优化目标值,通过加层、优化后续膜层的方法,重新优化设计一个补救膜系。

  ·试镀:确认、完善补救膜系效果。

  ·补救镀:完成补救工作。

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