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硼碳氮BCN靶材的特点

溅射靶材 2020-07-09 09:57

硼碳氮BCN靶材介绍:

目前,碳基硬质薄膜如金刚石和类金刚石(DLC)作为切削刀具和模具的抗磨涂层在现代工业中得到广泛的应用。然而,若金刚石和DLC作为高速钢和模具钢的表面涂层,其界面的黏附强度是很低的。另外,金刚石和DLC涂层在温度高于250℃时,易与空气中的氧气反应生成CO2。另外,在高速切削黑色金属如钢铁材料时,碳易于与铁族金属反应形成相应的碳化物,碳基硬质涂层的力学性能被恶化了,因而碳基硬质薄膜在钢铁材料的加工中受到了很大的限制。立方氮化硼(c-BN)的硬度仅次于金刚石,而它的热稳定性和化学稳定性均优于金刚石,适于加工铁族金属。

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