靶材绑定及衬管质量对大面积镀膜的影响

溅射靶材 2020-06-12 09:07

在本篇文章中要介绍的是靶材绑定及衬管质量对大面积镀膜的影响，在镀膜过程中，一些韧性比较差的金属、合金和氧化物等容易破裂的材料在使用过程中会发生破裂，在制备的时候一般会把靶材绑定在铜背板上，旋转靶材会绑定在不锈钢衬管上，常用的绑定材料为金属铟或其它金属物质。

除了保护靶材在运输过程中发生的意外破裂，也可以改善靶材机械强度不足的一些问题，这些都是利用靶材拼接到背板来解决大尺寸靶材制备使用受限的问题。可确保靶材的冷却及电接触良好，防止靶材在溅射中出现溅射不均匀和靶材开裂等问题。

导热导电不均匀会引起靶材溅射不均匀(成膜不均匀)，表面结瘤和放电现象也会引起成膜不均匀，膜层颜色出现差异，对介质层变化影响感的产品差异更为明显，使镀膜废品率升高。因此，靶材的绑定质量对其使用有着很大的影响。而对于一些导热良好不需要绑定的金属或合金旋转靶，如ZnAl、ZnSn、SiAl靶等，由于靶材材料与不锈钢管热膨胀系数物质在热胀冷缩效应作用之下，几何尺寸随着温度的变化而发生变化的规律性系数)存在差异，也需要使用某种连接材料进行粘结。如果结合不好，也会出现靶材受热不均，导热受阻，出现开裂脱落的现象，从而影响镀膜产品的质量和生产。

总的来说因为靶材在溅射的过程当中会产生大量的热，但陶瓷靶材的散热性又比较差，如果绑定出现较大面积结合不好，很容易出现溅射过程中局部热量的聚集，低熔点绑定材料铟熔化，从而导致靶材开裂甚至脱落的情况发现。