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靶材制备工艺八步曲

溅射靶材 2020-06-11 09:56

众所周知,靶材材料的技术发展趋势与靶材的制备发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。下面就跟着小编一起来了解一下靶材的制备方法吧!

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1、首先用化学方法制成铟锡氧化物化学复合粉末,或者将单体氧化铟粉末和单体氧化锡粉末按9:1质量比混合,制成机械复合粉末。粉末呈球形或准球形,平均粒径为30-200nm,纯度为99%,无硬团聚。

2、将复合粉末在350℃氧气氛中进行脱氧处理。

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3、把复合粉末装入包套内进行冷等静压。冷等静压介质为油,压力为200-280MPa,保压时间为10min。获得的粗坯密度为理论密度的45%-55%。

4、粗坯装入相应尺寸的容器内。容器与粗坯间隔以金属钽膜或镍膜或铌膜或铂膜,以阻止它们在高温高压下发生反应。

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5、抽真空,封装有粗坯的容器。

6、将上述容器放入热等静压炉中进行热等静压处理。热等静压温度为100-300℃,保温时间为0.5-6h,氩气氛压力为100-120MPa。

7、热等静压后用稀硝酸酸洗去除碳钢容器,剥离金属箔隔层,获得靶材。

8、用线切割方法切割靶材,获得所需尺寸的产品。

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