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石英坩埚的特性

溅射靶材 2020-06-12 11:13

石英坩埚的特性

1. 热学性能: 热学性能主要体现在以下几个方面

(1) 它的形变点为1075℃

(2) 它的软化点为1730℃

(3) 其最高连续使用温度为1100℃,短时间内为1450℃。

2. 结晶性能

(1) 石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶,也称为“失透”,通常也称为“析晶”。

(2) 析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100µm

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