石英坩埚的特性

1. 热学性能： 热学性能主要体现在以下几个方面

（1） 它的形变点为1075℃

（2） 它的软化点为1730℃

（3） 其最高连续使用温度为1100℃，短时间内为1450℃。

2. 结晶性能

（1） 石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体（方石英）。这个过程称为再结晶，也称为“失透”，通常也称为“析晶”。

（2） 析晶通常发生在石英坩埚的表层，按照中国石英玻璃行业标准规定，半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时，其析晶层的平均厚度应为﹤100µm

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