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石英坩埚生产厂家

溅射靶材 2020-06-09 09:50

石英坩埚生产厂家

原辅材料

  主要原料:高纯石英砂

  主要指标:(单位:ppm)

元素名称 Al Fe Ca Mg Ti Ni Mn Cu Li Na K Co B

含量 11.6 0.3 0.5 0.5 1.0 0.01 0.05 0.01 0.7 0.43 0.42 0.03 0.04

 1、辅料:

  ①石墨电极采用φ76mm粗高纯电极棒

  灰份:<80PPm

  假比重:1.6g/cm

  比电阻:<15×10Ω.cm

  抗弯强度:>1.47×10Pa

  ②石墨模具

  灰份:<200PPm

  假比重:16g/cm

  抗弯强度:>1.67×10Pa

  ③大尺寸石英遮热板

  纯度:Al<200 Na<30 Li<30

  Fe<30 K<30 1.石英坩埚可在1650度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。4.石英质脆,易破,使用时要注意。5.除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。

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