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我国市场上靶材有哪几种

溅射靶材 2020-07-02 13:45

1、高纯金属靶材:锆靶Zr、铬靶Cr、钛靶Ti、铝靶Al、锡靶Su、钒靶V、锑靶Sb、铟靶In、硼靶B、钨靶W、锰靶Mn、铋靶Bi、铜靶Cu、硅靶Si、钽靶Ta、锌靶Zn、镁靶Mg、铌靶Nb、钼靶Mo、钴靶Co、铁靶Fe、锗靶Ge、铪靶Hf、铅靶Pb、镍靶Ni、硒靶Se、铍靶Be、碲靶Te、碳靶C、不銹钢靶材等

2、贵金属靶材:金靶Au、银靶AG、铂靶PT、钯靶Pd、铱靶Lr、钌靶Ru、铑靶Rh、锇靶OS等

3、金属合金靶材:钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe、铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、锌铝靶材,铝铜靶材,铝镁靶材,铝硅靶材,铝银靶材,钴铁合金靶材,钴铁硼靶材,铜钴靶材,铜镍靶材,铜锆靶材,铁硼靶材,铁碳靶材,铁锰靶材,铱锰靶材。

4、陶瓷靶材:氧化锌铝AZO、ITO靶、IGZO靶材(氧化铟镓锌)、单晶硅靶Sc-Si、多晶硅靶。AC-Si、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、二氧化钛靶TiO2,氟化镁靶MgF2、氟化钙靶CaF2、氟化锂靶LiF、氟化钡靶BaF3,氧化锆靶ZrO、氧化镁靶MGO,碳化硼靶B4C,氮化硼靶B4N、碳化硅靶SiC,叁氧化二钇靶Y2O3、五氧化二钒靶V2O5、氧化锌靶ZnO、硫化锌靶ZnS、硫化钼靶MOS、氧化铝靶Al2O3、钛酸锶靶SrTiO3、五氧化二钽靶Ta2O5,五氧化二铌靶Nb2O5,硒化锌靶ZnSe、氧化锌镓靶,氧化锌硼靶,氧化锌靶材,铝氧化锌铝靶材,氧化铝靶材。

5、稀土金属靶:镧靶La、铈靶CE、镨靶Pr、钕靶Nb、钐靶Sm、铕靶EU、钆靶GB、铽靶Tb、镝靶Dy、钬靶Ho、铒靶Er、铥靶TM、镱靶Yb、靶Lu、钇靶Y等。。。

6、稀土陶瓷靶:氧化镧靶La2O3、氧化铈靶CEO2、氧化镨靶Pr6O11、氧化钕ND2O3、氧化钐靶Sm2O3、氧化钕靶ND2O3、氧化铒Er2O3靶、氧化铥靶TM2O3、氧化钬靶Ho2O3、氧化铕靶EU2O3金属钪、钇、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、、钛、锆、铪、氧化、氧化铒、氧化铕、氧化钇、氧化镨、氧化镝、氧化镨钕、氧化钆、氧化钐、氧化钕、氧化镧、氧化铽、氧化铈。

蒸发材料氧化铟锡靶材

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