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真空镀膜时为什么会出现产品掉膜的现象?

溅射靶材 2020-06-09 08:35

真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

高纯锆蒸发料

1、表面清洁度

高纯钴材料

产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

2、清洗过程中的问题

镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

铜合金靶材

3、工艺的问题

工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

4、靶材的问题

单质金属靶

钛靶是否中毒,检查和更换。

5、真空腔是否漏气

进行一次检漏。

6、产品表面氧化

氧化的原因很多,可以自行判断处理。

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