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ito靶材是什么?ito靶材用途有哪些?

溅射靶材 2020-06-30 08:53

ito靶材是ito薄膜的重要原料,具有良好的透明性和导电性,我们日常生活中的飞机防雾玻璃以及电脑的液晶显示玻璃都有ito薄膜成分。近年来发明的常压烧结法来生产的ito靶材纯度很高,并且能够降低企业成本,下面我们就一起来了解下ito靶材是什么吧。

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一、ito靶材是什么

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ito靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用ito靶材作为原材料,通过磁控溅射把ito靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上。

ito薄膜具有导电性和透光性,厚度一般30纳米~200纳米。ito薄膜由于对可见光透明和导电性良好的特性,广泛应用于液晶显示玻璃、幕墙玻璃和飞机、汽车上的防雾挡风玻璃等。

ito靶材主要质量指标化学成分In2O3SnO2=9010(wt%)纯度≥99.99%相对密度~99%密度均匀性偏差≤±0.3%,单片尺寸250mmx200mm,厚度可按用户要求任意。靶材的主要性能指标为高纯度≥99.99%;高密度,相对密度≥92%

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二、ito靶材的用途

ito靶材主要是在平板显示器中得到广泛的运用,靶材主用是在半导体中运用广泛。科技发展的迅速,让电子行业在市场中占据很大的份额,直接影响到了人们的工作和生活。

ito靶材有极高的性能优势,而且有比较高的耐热冲击性,在使用中不会对设备造成损坏,同时它的纯度特别的高。目前,市场中很多电子产品都用到了平面显示器,液品电脑、液品电视进入到了千家万户,液晶的产品不管是在外观上还是在质地上都是比较高的,而且能够降低耗能。

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ito靶材被广泛运用到了电子领城,因为电子领域对于材料的要求普遍比较高。它为电子行业的发展起到一定的推进作用,同时靶材能够延长电子产品的使用寿命,而且质量也比较符合检测标准,一般很少会出现产量不合格的现象,同时在外观上也能符合人们的要求。

三、ito靶材现状

ito靶材在目前的市场中使用广泛,而生产它的方法有多种。在以前,它的生产技术并不是很好,为了满足人们的需求才有了常压烧结法,初的生产方法就是真空热压法,使用这种方法生产靶材不仅花费的成本比较高。而且不能够提高工作的效率,对于企业来说不仅提高了投资的成本,而且并没有让产品的质量得到改善。

近这些年,发明了一种常压烧结法来生产ito靶材,主要通过预压的工作来实现对靶材的生产,而这种方法不仅能够让生产出的靶材密度比较均匀,而且降低了生产中的成本。用这种方法生产出来的靶材能够用于高端显示器中。

时代在进步,ito靶材的生产方法也在进步,现在很多企业都是用常压烧结法在生产ito靶材,能够降低企业成本的同时,提高靶材的使用性能,可谓一举两得。

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