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什么是钨靶材

溅射靶材 2020-06-22 10:15

钨靶材即纯钨靶材,是由纯度99.95%以上的钨材制作而成,具有银白色金属光泽,是以纯钨粉为原材料制成的,也被称之为钨溅射靶材,具有高熔点、较好的弹性、较低的膨胀系数、良好的热稳定性等优点,已被广泛应用于薄膜材料、半导体集成电路、X-射线管、医疗和熔炼设备、稀土冶炼、航空等领域。

钽

为什么选择纯钨作为靶材原材料?因为钨靶材具有以下优点:

1.高纯度,烧结锻打后的钨靶可以99.95%的密度甚至更高;

2.成型快,采用粉末冶金,直接压制成型;

合金靶

3.高致密度,锻打后的钨靶材密度可达到19.1g/cm3以上;

NiCrAlSiY

4.粉末冶金法的广泛应用,使钨靶成本比钛等其他靶材低;

5.成分均匀、组织结构都是均匀的,提高了钨靶的偏转力度;

6.较细小的晶粒尺寸,晶粒均匀且等轴,一致性较高,镀膜成品质量也相对较高。

随着新技术和新材料,特别是微电子行业的新器件和新材料的飞速发展,溅射靶材的市场规模日益扩大。靶材已逐渐发展成为一个专业化产业,世界的靶材市场还将进一步扩大。

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