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靶材的清洗包装技术

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  靶材的清洗包装技术

  靶材表面如何清洗?

  金属靶材出厂时候都有进行表面处理

  使用之前可以预溅射一段时间,将表面一层打掉。

  一种靶材的真空包装方法,包括:靶材装入包装袋,对包装袋进行第一次抽真空;向包装袋充入惰性气体;对包装袋进行第二次抽真空;将包装袋封口。利用本方法,可以很好的确保包装袋内没有容易引起靶材生锈或表面被氧化的空气。

  下游客户的生产环境、溅射反应机台腔体对溅射靶材的洁净程度要求很高,公司运用自主设计的靶材全自动清洗机进行反复的产品清洗,在真空环境下使产品干燥,用于生产半导体芯片的溅射靶材表面洁净度能够达到电子级水平。

靶材的清洗包装车间
靶材的清洗包装技术

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