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靶材的制备介绍

溅射靶材 2020-06-07 17:25

靶材的制备介绍,帮助大家更多的了解靶材行业的情况。称取适量自制粉体,配制4Vol的聚乙烯醇(PVA)为粘结剂,以无水乙醇为混合剂,进行造粒,然后在80C的干燥箱内稍许烘干,要求粉体保持一定的湿度,具有良好的流动性,然后冷等静压成靶材素胚。将压制好的素胚小心置于刚玉片上,在硅钼高温炉中进行高温烧结,得到复合靶材,取出后进行打磨,清洗。

用扫描电镜(sEM)观察靶材的微观形貌,以电子探针(EPMA)测试薄膜的化学成分,以X射线衍射仪(XRD)分析靶材的相结构],计算靶材的收缩率,并在射频溅射设备进行溅射测试,检验靶材使用状况,分析制备得到的铁氧体薄膜性能。

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