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靶材的种类及应用领域介绍

溅射靶材 2020-06-22 09:56

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

靶材的种类:⒈金属靶材⒉陶瓷靶材⒊合金靶材

微电子领域:半导体产业对靶材的品质要求是最苛刻的,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构,靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素平面显示器用靶材:

现在的1TO靶材有两种,一种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。存储技术用靶材:在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要人鼍的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多层复合膜是现在应朋展广泛的巨磁阻薄膜结构。

磷酸铜单质金属靶

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