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真空溅射镀膜膜层为什么会脱落

溅射靶材 2020-06-18 10:38

铁合金靶材

关于真空溅射镀膜膜层为什么会脱落这个问题,原因涉及到以下几个方面:

1.底漆未充分固化,应延长底漆的固化时间;

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2.镀件除油脱脂不彻底,应加强镀前处理;

3.真空室内不清洁,应清洗真空室,值得注意的是,在装靶和拆靶的过程中,严禁用手或不干净物体与磁控源接触,以保证磁控源具有较高的清洁度;

铜镓合金靶

4.夹具不清洁,应清洗夹具;

5.底涂料选用不当,应更换涂料;

6.溅射工艺条件控制不当,应改进溅射工艺条件。

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