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合金靶材如何储存保养

溅射靶材 2020-06-16 14:44

靶材包装在双层真空塑料袋中,我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中,尤其是帖合靶材更需要保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装,我们建议最少需要包装在洁净的塑料袋中。

磷酸铜

靶材保养技巧:

为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以最大功率密度进行溅射。

靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁:

高纯铪陶瓷靶材

第一步:用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

蒸发材料

第二步:与第一步类似用酒精清洁;

第三步:用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。

第四步:在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

真空溅射靶材、光学镀膜材料广泛应用于装饰镀膜、工具镀膜、光学镀膜及镀膜玻璃工业与平板显视行业。溅射靶材成分设计合理、表面平整光滑,具有良好的导电性,溅射时工作电流稳定,高阻靶材的底板焊接牢固适用,采用该靶材制作的电阻器,具有阻值集中、稳定性好,有良好的耐热、耐磨和抗氧化性能,电阻温度系数小等特点。

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