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新型的钛铝合金靶材制作方法

溅射靶材 2020-06-15 15:12

目前全世界各大溅镀靶材制造厂中,对于铝合金溅镀靶的制造都采用两种不同方法,一种是采用铸造法制作铸锭,再进行锻造过程制作的;另一种是以喷覆成型方式制作的。就已知的铸造/锻造方法而言,在制作铝合金溅镀靶材时,常因添加合金元素而使铝合金溅镀靶材产生偏析现象,进而使得溅镀所得的薄膜品质较差,且溅镀靶表面易产生微颗粒,亦会影响薄膜性质的均匀性;而若使用已知的喷覆成型方式制作铝合金溅镀靶材时,虽然可以避免上述相关缺点,但将使溅镀靶制作成本大幅提高,尤其是在制作一些不易以锻造方式而必须采用热均压的溅镀靶时,其成本更将因使用热均压而提高。

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为了使钛铝合金靶材的制作过程更简易,成本更低,在这儿介绍一种以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法,其原理是指一种以气喷法依合金成分配比制作溅镀靶材的原料粉末,再将该合金粉末予以筛分,得到适当的粉末粒径,最后以此粉末进行真空热压成形以制成铝合金溅镀靶材。这种以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法,对于制作各种不同的铝合金溅镀靶材(铝-铬、铝-硅-铜、铝-钛等等)皆可应用,其较佳实施步骤是:提供制作铝合金溅镀靶材的金属原料并熔融成金属熔液;接着,以气喷法将该金属熔液制成金属粉末;最后,以真空热压将该金属粉末成形,制成铝合金溅镀靶材,并通入惰性气体作为保护气体。这个方法能够避免产生材料偏析和微颗粒的缺点,且更快速且便宜的制作高品质的溅镀靶材。

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