新型的钛铝合金靶材制作方法

溅射靶材 2020-06-15 15:12

目前全世界各大溅镀靶材制造厂中，对于铝合金溅镀靶的制造都采用两种不同方法，一种是采用铸造法制作铸锭，再进行锻造过程制作的；另一种是以喷覆成型方式制作的。就已知的铸造/锻造方法而言，在制作铝合金溅镀靶材时，常因添加合金元素而使铝合金溅镀靶材产生偏析现象，进而使得溅镀所得的薄膜品质较差，且溅镀靶表面易产生微颗粒，亦会影响薄膜性质的均匀性；而若使用已知的喷覆成型方式制作铝合金溅镀靶材时，虽然可以避免上述相关缺点，但将使溅镀靶制作成本大幅提高，尤其是在制作一些不易以锻造方式而必须采用热均压的溅镀靶时，其成本更将因使用热均压而提高。

为了使钛铝合金靶材的制作过程更简易，成本更低，在这儿介绍一种以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法，其原理是指一种以气喷法依合金成分配比制作溅镀靶材的原料粉末，再将该合金粉末予以筛分，得到适当的粉末粒径，最后以此粉末进行真空热压成形以制成铝合金溅镀靶材。这种以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法，对于制作各种不同的铝合金溅镀靶材(铝-铬、铝-硅-铜、铝-钛等等)皆可应用，其较佳实施步骤是：提供制作铝合金溅镀靶材的金属原料并熔融成金属熔液；接着，以气喷法将该金属熔液制成金属粉末；最后，以真空热压将该金属粉末成形，制成铝合金溅镀靶材，并通入惰性气体作为保护气体。这个方法能够避免产生材料偏析和微颗粒的缺点，且更快速且便宜的制作高品质的溅镀靶材。