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合金靶材的制作方法

溅射靶材 2020-06-03 10:23

  目前合金靶材的制备主要有特种熔炼法粉末冶金法

  特种熔炼法:将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金溶液浇注于模具中,形成铸锭,最后经机械加工制成靶材,铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等,其优点是靶材杂质含量(特别是气体杂质含量)低,密度高,可大型化;缺点是对熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属,普通熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材。

  粉末冶金法:将一定成分配比的合金原料熔炼,浇注成铸锭后再粉碎,将粉碎形成的粉末经等静压成形,再高温烧结,最终形成靶材,其优点是靶材成分均匀;缺点是密度低,杂质含量高等,常用的粉末冶金工艺包括冷压、真空热压和热等静压等。

  我公司生产靶材的工艺:通过金属熔炼,粉末冶金,非金属粉末方法运用真空熔炼,普通热压,冷压烧结等方法成型,通过锻造,热轧或冷轧,再经过热处理消除型材应力并使之均质化或通过高温烧结增加其致密性,然后再对处理过的型材进行车,铣,刨,磨等机加工过程,再清洗,烘干,完成最终产品。有时根据需要对某些靶材地面金属化后进行与无氧铜背板的绑定。最后经过超声波或者X光等检测,包装,出厂。

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