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国内钨-钛合金靶材取得新成果

溅射靶材 2020-07-06 15:21

靶材的运用领域较为广泛,得到业界众多人士的关注。对于大多数市民而言,“靶材”这个概念相对陌生。但是包括光伏电池、平板显示器、大规模集成电路、微电子器件及装饰涂层等产业,都需要大量的“靶材”。我国现已成为世界上溅射靶材需求最大的国家之一。

不过,迄今为止,全世界高纯度、高密度、大尺寸钨-钛合金靶材只是日本、德国、美国等少数几个国家可以生产,我国应用的大量高性能靶材仍需进口。

而原本生产传统五金器件的佛山市钜仕泰粉末冶金有限公司,看到我国该市场的潜力和国内同行的“短板”后,从2006起联合中国科学院沈阳金属研究所,先后投入共2000多万元研发“高端靶材”。2009年,该公司成功研发出钨-钛合金镀膜靶材,具有一系列不可替代的优良性能。其研发生产的超大尺寸、高密度、高纯钨-钛合金靶材,属于新型的离子溅射镀膜靶材,可广泛应用于显示屏的阻挡层或调色层,笔记本电脑的装饰层、电池的封装等。产品经过美国权威检测,其主要技术指标已基本达到设计要求,靶材密度已达到理论密度的99.9%,纯度达到了99.99%,靶材密度已达到国际先进水平,成功填补了我国空白。

高纯铜靶材单质金属靶

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