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单晶硅靶材和多晶硅靶材有什么区别?

溅射靶材 2020-07-01 17:08

纯度方面:单晶硅和多晶硅一般纯度不一样,在国内单晶硅一般纯度是99.999%,多晶硅纯度是99.99%。

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在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显。

在电学性质方面,多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著,甚至于几乎没有导电性。

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