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石英坩埚防止减少析晶的方法

溅射靶材 2020-06-12 11:43

石英坩埚防止减少析晶的方法

防止减少析晶的方法

1石英坩埚的生产厂商要保证其生产的坩埚从用料到生产的各个环节都符合质量要求。

2在单晶生产的整个过程中应严格按照工艺规程认真操作。

3拉晶所用的原料纯度一定要符合生产要求,如果原料本身所含杂质较多,在溶料过程中也会造成析晶。尤其是碱金属离子的存在,将会降低析晶温度200~300℃.

4原料的清洗一定要符合工艺要求,进过酸或碱处理的原料如果未将酸碱残液冲洗彻底,易造成析晶。

5新的石墨器件,如石墨坩埚因含有一定的灰粉和其它杂质,在投入使用前须经过彻底的高温煅烧才能使用。

6熔料时应选用合适的熔料温度以减少析晶或降低析晶的程度。

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